硬脆材料表面纳米级抛光设备及工艺技术

    所属领域：先进制造

    单位名称：中国电子科技集团公司第四十五研究所

    成果简介：该技术可广泛应用于第三代半导体材料（碳化硅、氮化镓）、手机蓝宝石屏幕、LED蓝宝石衬底等硬脆半导体材料抛光。技术所有方研究开发了基于化学机械抛光工艺的纳米级超精米抛光工艺及设备，突破纳米级超精抛光工艺技术、纳米级超精抛光液、高刚度超精密抛光台的设计与制造、压力精密调节控制、抛光液循环过滤等关键技术。先后完成了碳化硅、氮化镓、蓝宝石晶片抛光工艺研究与试验验证，成功地解决了硬脆材料表面抛光过程中对薄片抛光应力控制、高面形精度与去除效率、抛光液成分及配比等抛光工艺参数设置问题，解决了硬脆材料在抛光过程中去除速率低、表面划痕多以及表面粗糙度大的技术难点，掌握了自主知识产权的硬脆材料晶片化学机械超精表面抛光技术，建立了碳化硅、氮化镓、蓝宝石等硬脆材料晶片抛光的最佳参数配置方案及工艺参数库，具备了抛光设备、抛光液和抛光工艺成套解决方案。

    预期效益：根据市场调研，未来几年材料精密抛光设备的每年市场需求在6亿元人民币以上，并且年增长率约15%，目前，进口精密抛光设备占据了我国大部分市场。在现有技术平台基础上，可以研发大尺寸抛光机，凭借良好的性价比，可以在硬脆材料抛光市场占据一定的份额。预计到2017年，可实现销售各类精密抛光设备300台/套以上，销售额超过2.3亿元，并实现利润3000万元。

    合作方式：技术转让/许可使用/合作开发

    转化周期：6个月

    资金需求：1000万元

    推荐单位：中国技术交易所

    磷酸铁锂动力锂离子电池大规模产业化技术

    所属领域：新能源汽车

    单位名称：海特电子集团有限公司

    成果简介：该项目通过对磷酸铁锂材料参数测量、应用过程的综合和系统的研究，对磷酸铁锂材料有一个清晰的概念，可有效地指导磷酸铁锂电池产业的生产和应用。磷酸铁锂动力电池技术作为技术持有方自主立项研发的项目，从2008年开始与河北工业大学合作研究并进行产业开发，迄今已经6年时间，技术比较成熟。经过5年的大规模生产验证，各项性能指标经信息产业化学物理电源产品质量监督检验中心检测，均达到国际先进水平。经过研发团队的多年努力，成立了多个研发机构。公司和大学的科研人员经过了长期的研发，完全掌握的磷酸铁锂电池的技术体系，拥有核心技术秘密和自主知识产权。该技术产品已经经过了原理性试验和生产小试、中试、批量化生产，自主设计了年产10亿Ah电池生产线。

    成果盈利性：技术持有方通过电池原材料及电池生产制造工艺的同步开发，电池产品成本可比同类厂家降低约20%，性能提高约6%，具有较好的盈利性。

    市场分析：磷酸铁锂材料由于具有循环寿命长、安全性能高、成本低廉、高温稳定、资源丰富等优点，成为了锂离子动力电池的首选正极材料，特别是磷酸铁锂材料的高安全特性，吸引了国内外众多研发机构和生产厂家的关注。磷酸铁锂电池由于其自身的优势被广泛应用于混合动力汽车、电动工具、电动自行车、电动助力车、发电储能装置等各个领域。技术持有方产品已获得ROHS认证、CE认证、UN38.3认证等多项认证。

    营销状况：该项目产业化后，市场前景非常广阔。磷酸铁锂动力电池目前已经可以部分替代铅酸电池，未来可实现完全替代，无需培育新的市场。目前，已有多家客户试用，如中通客车、齐鲁客车以及部分国外客户。

    拟采取的转化方式：其他

    资金需求额：8000万元

    推荐单位：山东省科学技术厅