2024年06月04日 星期二
济南高新区临空经济区:“小晶体”撬动大产业
在济南高新区临空经济区内,恒元光电工作人员正在操作晶体提拉炉。受访者供图

◎本报记者 王延斌

    近日,在济南市“揭榜挂帅”科技计划项目支持下,济南高新区临空经济区内,山东恒元半导体科技有限公司控股子公司——济南恒元光电科技有限公司(以下简称恒元光电)研发出12英寸光学级铌酸锂晶体。这是国际上首次报道的12英寸超大尺寸铌酸锂晶体。

    铌酸锂晶体是一种具有压电、电光、声光及非线性光学等多种效应的多功能晶体。其物理化学性质稳定,是至今人们所发现的光子学性能最多、综合指标最好的一种人工晶体。

    恒元光电科研团队与山东大学教授刘宏及其科研团队、济南大学教授孙德辉及其科研团队合作,自2002年起一直从事铌酸锂晶体材料的研究。经过多年攻关,他们相继攻克了12英寸铌酸锂晶体生产设备的设计、晶体生长及缺陷控制、晶体后处理等全链条关键核心技术,获得4项国家发明专利授权。

    据测算,晶圆从6英寸“长”到8英寸,单位器件成本将降低50%;从8英寸“长”到12英寸,单位器件成本还将继续降低50%。在恒元光电创始人彭立果看来,更大的尺寸,意味着能在同质量的晶圆上生产更多的器件。

    近日,在济南高新区临空经济区中欧制造国际港,记者走进位于这里的恒元光电无尘车间,8个晶体生长炉在车间依次排开。

    “这些晶体的原料,是高纯度的氧化铌和碳酸锂。原料混合、压块、烧结后被放到晶体生长炉里,用提拉法帮助晶体生长,十多天后,便会生长成一个标准的圆柱。”彭立果说,“经过退火极化后,再将圆柱切割成晶圆片,倒角、研磨、抛光、清洗之后,最终的成片就是铌酸锂晶圆片。”

    铌酸锂晶圆片有哪些具体的应用场景?彭立果提到了两个方面。

    “首先是铌酸锂晶体的光学应用。”他介绍,“铌酸锂晶体的透光范围宽,具有较大的折射率。在视觉影像显示方面,铌酸锂晶体比光学玻璃的性能更好。”彭立果说,目前铌酸锂晶体已经逐步应用于AR(增强现实)、VR(虚拟现实)设备,同样的视觉范围,采用铌酸锂晶体的设备体积更小、更轻便。

    铌酸锂晶圆片另一个应用领域是网络通信。

    “现在我们常说‘光纤入户’,实际上光纤中传输的信号就是光信号,但光信号要转化为电信号,就必须经过电脑处理。这个过程被称为‘电光调制’。使用铌酸锂晶体光电器件的电光调制设备,速率已经达到了每秒800G至1.6T,且能耗更低。”彭立果说,“速率的提升意味着算力的提高。目前,已经有企业选用了基于铌酸锂晶圆片的光电器件,我们的生产原材料也实现了产业化应用。”

    得益于济南高新区临空经济区构建的良好产业生态,近年来,像恒元光电这样的一批优质企业落户于此。“优质企业的落户,将推动产业链向上下游延伸,有助于企业的发展。”彭立果说。在人工晶体材料领域,特别是在铌酸锂领域,济南高新区临空经济区已经形成了产学研聚集效应。

    日前,山东省政府印发《关于聚力推动工业经济高质量发展十大行动的意见》,提出“规模以上工业企业数字化转型覆盖率达到90%左右”“信息技术产业营业收入同比增长10%以上”“数字经济总量占全省生产总值比重达到49%左右”等具体目标。

    济南高新区临空经济区负责人表示,他们将积极落实相关意见,为企业提供良好的发展土壤,让越来越多的优质企业落户临空经济区。

    凭借得天独厚的地理位置和便捷的交通网络,如今济南高新区临空经济区正汇聚起丰富的科技资源和人才优势,将自身发展与企业发展紧密结合,助力高新区新一代信息技术、智能制造与高端装备产业高质量快速发展。

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