科技日报讯 （记者张晔）9月底，苏州纳米科技发展有限公司将6英寸微纳机电制造（MEMS）中试线的首个产品正式交付客户，这意味着国内首条全开放、市场化运作的6英寸微纳机电制造（MEMS）中试线正式运营。

    据了解，苏州6英寸微纳机电制造（MEMS）中试线，由苏州纳米科技发展有限公司建设，超净场地、厂务配套设施、研发实验室、公共服务等场地共16000平方米，其中超净工艺场地5200平方米，该中试线是江苏省“十二五”重大科技平台项目，也得到了工信部“工业转型升级服务平台项目”支持。

    由于我国MEMS产业的创新链不完善，中小MEMS企业发展面临很多困难，尤其是产品的工程化中试已成为影响中小MEMS企业规模化成长的瓶颈。据了解，苏州6英寸微纳机电制造（MEMS）中试线采用市场化、全开放的运作模式，主要开展MEMS产品工艺研发、MEMS加工、部分封装测试、超净场地租赁、工艺技术培训等十多项专业服务，目前已成功导入压力传感器、微镜传感器、微流体传感器等产品，基本具备了MEMS芯片的开发加工能力。

    “我们的中试线，与科研机构的概念验证、单步工艺能力不同，主要开展中试和小批量生产业务，前端与产品样品衔接，后端与规模代工厂衔接，是一个完全工业级别的中试线。”苏州6英寸微纳机电制造（MEMS）中试线运营总监游家杰告诉记者。苏州市集成电路行业协会秘书长张希军一直积极推动中试线建设，他认为中试线不仅是中小企业的创新平台，更弥补了中国MEMS产业创新链的空白。