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    科技日报讯 （记者胡左）产品质量具有国际先进水平、国内规模最大的年产5000吨气相法二氧化硅装置正在建设中，配套建设、国内首创年产1000吨电子级高纯硅烷气项目，8月15日已完成设计和土建工作。7月，经天津大学测试，赤峰盛森硅业科技发展有限公司中试产品电子级高纯硅烷气纯度超过7N，标志着我国此类硅烷气生产技术水平跻身国际先进行列。

    气相法二氧化硅是一种重要的纳米无机化工材料（被称为工业味精）；电子级高纯硅烷气是电子化工材料新门类、微电子产业的重要支撑材料之一，这两种材料在民用、工业、国防领域均有广泛用途。赤峰盛森硅业科技发展有限公司自主研发单套年产5000吨气相法二氧化硅装置，创新性地采用先进的闭式炉和分段热回收工艺，确保了产品质量提高。2011年6月，公司与青海大学、天津大学开展产学研合作，自主研发，首创了用歧化催化法生产高纯硅烷气技术，填补了国内空白，突破了国外技术封锁。

    赤峰盛森硅业科技发展有限公司的气相法二氧化硅和硅烷气项目，在硅产业园区内部形成了一个完整的物料闭路循环体系：气相法二氧化硅项目以四氯化硅和氢气为原料，副产品为盐酸；盐酸解析出的氯化氢与硅粉反应生产三氯氢硅，副产的氢气用于生产气相法二氧化硅；三氯氢硅经歧化催化反应生产电子级的高纯硅烷气；硅烷气生产过程中副产大量的四氯化硅再用于气相法二氧化硅产品的生产。两个项目形成互相利用对方副产物生产高附加值产品的良好格局，达到无三废排放的循环体系，并且回收了整个生产过程中的余热，产品能耗与同行业相比降低70%。

    专家称，赤峰盛森硅业科技发展有限公司生产气相法二氧化硅和电子级高纯硅烷气，副产物相互利用，是一个具有经济和环保双重效益的工艺技术，将进一步提高我国硅产业的技术水平和市场竞争力。