应用材料公司日前发布了AKT-20K TFE PECVD和Applied AKT-40K TFE PECVD两款新系统。新系统主要面向高解析度、轻薄型电视和移动设备的柔性OLED显示屏幕的批量生产，能有效沉积薄膜封装阻隔层，对保护敏感性极高的OLED器件具有重要意义，成为材料工程领域的又一项重大突破。新系统能帮助显示器制造商替代设备前方的刚性绝缘玻璃，开发出适用于新一代消费电子产品的可弯曲的和曲面显示屏。

    据介绍，OLED屏幕凭借鲜艳亮丽的色彩和低能耗特性已在智能手机中得到迅速普及，其中柔性OLED是移动通信领域增长最迅猛的显示设备。

    据了解，Applied AKT TFE产品线的主要特色在于其能提供极低透水和透氧性的扩散阻挡薄膜，从而大幅提升OLED的使用寿命。这些高性能薄膜都在100℃以下的环境中沉积，解决了OLED材料在暴露于外部环境中易于降解的问题。此外，该系统采用独特的视觉对准技术，保证了精准的掩膜定位和沉积，使显示设备制造商能减少光刻和蚀刻工序。面向不同的显示细分市场，可以更灵活地满足各类大、小尺寸的更加轻薄型柔性OLED显示设备不断增长的需求。

    应用材料公司副总裁兼显示事业部总经理谢思源博士表示：“随着显示器尺寸、解析度、画质和外形的改进，为显示设备制造商创造了巨大的市场机遇，将有更多新柔性显示产品推向市场。柔性OLED必须有一定的结实度，才能满足消费者在日常生活中的需求。目前已投产的Applied AKT-20KTFE系统能让面板厂商加快推出柔性和曲面移动显示设备，未来这将改变我们每天使用的电子产品的外观。”（李国敏）