2013年09月04日 星期三
张卫:领团队铸就微电子利剑
金婉霞 本报记者 王 春
■ 人物档案

张卫 教授,复旦大学微电子学院副院长、复旦大学第6届学术委员会委员、“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家重大科技专项总体专家组专家、上海市战略性新兴产业科技创新推进专家委员会专家。自1992年以来先后在Science、IEEE Electron Device Letters、IEEE Transactions on Electron Devices、Applied Physics Letters、Journal of Applied Physics等国际期刊和会议上发表论文180多篇,申请专利100多项。他领导的团队长期以来一直从事集成电路工艺和半导体器件的研发。(刘 畅摄)

    记者联系张卫教授时,电话那头,这位做了二十余年研究工作的教授反反复复强调着“其实我什么也没做,每个做科研的人都和我一样,我没啥特别的”。

    8月9日,一篇刊登在当日出版《科学》杂志(Science)上的科研论文让张卫教授和他的团队吸引了微电子器件领域的注意。论文报道了由张卫教授领衔的科研团队提出并实现的一种新型的微电子基础器件:半浮栅晶体管。这是我国科学家在该顶级学术期刊上发表的第一篇微电子器件领域的原创性成果。该成果的研制将有助于我国掌握集成电路的核心技术,从而在国际芯片设计与制造领域内逐渐获得更多的话语权。消息一出,张卫教授的电子邮箱就塞满了各路记者的邀访函。

    “我们这些做科学研究的,不像你们记者想象的那样,没那么多轰轰烈烈,我们很平凡。”张卫说。

    最享受 平凡岁月中有非凡

    办公室门口,挂着一块牌子,上面写着“办公、开会、出差”一个小箭头指示着办公室主人的工作状态。张卫的“箭头”也大多在三项之间来回变动。办公室里的黑白板上,密密麻麻的电路图还没来得及擦掉。张卫教授一连接了好几个电话,才稍有时间坐下喝口水。

    “我很幸运,博士毕业后到复旦大学工作两年就评上了副教授,四年就破格晋升为教授。”张卫说得轻描淡写,但看似侥幸“机会”的背后却是多年脚踏实地的“积累”。

    1995年从西安交通大学博士毕业后,张卫到复旦大学物理学博士后流动站做博士后,每天早上8点上班,晚上10点下班,生活很有规律。“其实生活挺简单,每天就是看文献、做实验。遇到问题,就去查文献,看看别人是怎么解决的,我又会怎么想,就这么琢磨着。阅读文献和做实验,日子过得很踏实。”张卫说,“做科研没有休息日,在家里那些问题也总是在脑子里转。”

    把每一件简单的事做好就是不简单,把每一件平凡的事做好就是不平凡。多年来持之以恒的平凡科研生活开出了一朵朵不凡之花。打开复旦大学微电子学院的官网,一项项成果都和张卫的名字捆绑在一起。“微电子领域国际顶级期刊《IEEE Electron Device Letters》最新一期发表了张卫教授课题组在半导体存储器研究上的研究成果”“张卫教授课题组在半导体存储技术研究上最近又获新成果”“张卫教授领衔团队成功研发世界第一个半浮栅晶体管(SFGT)”……从铜互连技术到原子层淀积工艺、再到半浮栅晶体管,张卫教授带领的创新团队始终走在我国微电子领域的前端,“我们做集成电路研究的,如果不能跟上国际上领先的技术又有什么意思呢?”平凡的张卫说得理所当然。

    科研已在张卫教授的生活中扎下了根,即便是在出差的火车上也可以蹦出新想法。“有一次我和王鹏飞教授一起坐火车出差,上了火车就开始讨论一个技术问题,一直探讨到晚上10点多,我们觉得有一个想法很好,可以写个专利。第二天早上醒来,发现王鹏飞已经把这个专利的图画出来了”。

    “科研工作其实就是这么做的。”张卫轻描淡写道。

    最自豪 有一个优秀团队

    “他们在很多方面都比我强。”张卫说。在他的创新团队里,每个人都有自己的拿手戏:王鹏飞在器件设计、江安全在器件测试、孙清清在器件物理、丁士进在先进互连介质、周鹏在器件工艺、卢红亮在原子层淀积……如今这一支7人团队,在张卫教授的带领下已成为一支富有活力的创新团队。

    刚来复旦后不久,随着老教授的光荣退休,张卫就成了光杆司令。这可把他急坏了,“我们搞应用研究的,个人力量很单薄,必须组建一个团队。”打电话、联系人、一次次劝说,为了共同的研究兴趣和目标,丁士进、王鹏飞等一批人才在张卫的力邀之下从世界各地陆续加入团队。张卫教授在组建团队的时候考虑的不是自己的权威地位,而是团队的综合实力,“如果他学术上不能在某个方面比我强,那我为什么要把他招进来?”张卫表示。

    一个团队总有一个“灵魂人物”,张卫教授就是团队的核心。“做团队的负责人必须兼具有统率全局的能力和宽宏的胸襟。”张卫说,把合适的人放到合适的位置,各自分工又能拧成一股绳,是一门管理艺术。近5年来,在张卫的带领下,团队的多项研究成果已发表于Science、IEEE Electron Device Letters、IEEE Transactions on Electron Devices、Applied Physics Letters等本领域顶级国际期刊上,并已获得中国及美国专利授权30余项。

    “在过去的几十年里,各国科学家努力将更多的器件集成到一块芯片上来提高运算能力,钻研如何实现更小尺寸的元器件。但随着器件尺寸越来越接近其物理极限,基于新结构和新原理的器件成为当前业界急需。”这次,张卫教授又找到了新研究目标,为此他力邀在器件研究上有闯进的王鹏飞博士加入团队。根据各个人的特长优势,张卫给他们安排了不同的研究方向。“一开始我们开大会,所有人都到场,但这样效率太低,于是改开小会,我主要旁听指导。”

    走进实验室,张卫教授却皱起了眉头。“器件对实验室的要求很高,没有好的实验设备就无法做出成功的器件。”张卫直言。现在的微电子学院“微纳加工与器件实验室”配备了国际一流的器件、工艺和测试设备。可在2010年前,却是另一幅景象。团队成员之一江安全博士打开一扇橱窗,里头放着一台陈旧的显微镜,已锈迹斑驳,这台显微镜却是曾经实验室的常用设备之一。“我们的试验条件确实很艰难,实验室改造之前净化环境、硬件都达不到标准。”王鹏飞教授回忆道,“试验效率极低,做10次试验才能测出可靠的结果。”2010年10月底,在复旦大学“985”平台支持下,学校开始大力改造实验室。同时,在国家重大科技专项的支持下,实验室更新了一批实验设备。“在艰苦的条件下我们还是克服了很多困难,复旦大学校领导给了我们很大的支持。”张卫有感而发。

    最终当团队做出半浮栅晶体管的时候,一扇通往更广阔的微电子世界的窗仿佛已被开启。“半浮栅晶体管作为一种基础电子器件,它在存储和图像传感芯片等领域具有广阔的市场前景。”张卫表示,它的成功研制有助于我国掌握集成电路的核心器件技术,为我国集成电路产业的创新发展提供一次良好的机遇。

    面对成果,张卫教授保持了他一贯的谦虚和低调:“对于一项新的技术发明,我们还需要不断完善和夯实基础,这需要政府和相关部门的大力支持”。未来,张卫还将带领团队在器件性能的优化和进一步提升上再下苦工。“相关应用的电路设计和关键IP技术,以及技术节点缩小带来的一系列工艺问题等,都正在有条不紊地进行中。”在张卫的眼里,科研无法停步。

    最得意 桃李芬芳

    身为教授,除了科研,张卫教授还有第二个任务——人才培养。“我培养的学生都是很厉害的!”说及门生,这位行事低调严谨的教授终于露出了自豪的笑容,“在国内主要的集成电路企业,如中芯国际、华力、华虹宏力、武汉新芯等,我培养了几十个学生,他们都是公司的技术骨干!”可谓桃李满园。

    教书育人,张卫也有一套自己的标准:“我培养的学生必须在某些方面比我强。”

    “做科研必须发挥积极性,有热情、有激情,同时还要具备敏锐的洞察力。”张卫说自己脾气不好,对学生有时“骂得很凶”,“但都是为了他们好”。张卫补充说。曾经有一位在职博士,拜师张卫门下,边工作边读书让这位学生少有时间出现在实验室里,“有时候只在周末才来做实验,效率很低。”3年下来,论文研究进展很不顺利。“学生很急,我也很急。”回忆旧事,张卫笑了笑,“有一次,我们在办公室争论,我的牛脾气一上来,拍着桌子,朝学生大吼,论文写成这样怎么能毕业?”在张卫教授的严格要求下,这位学生辞去工作,踏实做起了科研,当然也终于获得了一顶实至名归的博士帽。

    “我把学生当成朋友。”别看张卫教授脾气犟,可心里头,学生始终是他时时牵挂的对象。张卫教授曾经是微电子学系的系主任,教学、科研任务和行政工作繁忙。但无论多忙,他每月都会抽出时间给本科生。“系主任午餐会”是张卫教授主动发起的与本科生直面交流的平台。张卫教授每次邀请微电子学系十位本科生同学共进午餐,交流学习、生活的感想,帮助他们解疑答惑。张卫教授还积极参加了“我与系主任”讲坛。面向二、三年级的本科生,讲坛上,张卫用通俗易懂的语言给学生们普及专业知识、培养科研兴趣。微电子学生分布在邯郸和张江两个校区,张卫也不“顾此薄比”,常常利用晚上时间去张江校区与同学交流,毫无怨言。

    “沅梦”支教是复旦大学微电子本科生的一个特色活动。每年暑假,以微电子学科大二学生为主的支教队,远赴云南省镇沅县古城中学开展支教活动。这项活动每年都得到张卫教授的大力支持。“大学生活不仅仅是书本学习,更应该注重对社会责任感和人生理想的培养。”他语重心长地告诉支教的同学们。3年来,在“沅梦”支教活动中他“一对一”资助了十几位古城中学的贫困学生。每当看到这些孩子的期末成绩单时,他都会流露出会心的微笑。难怪在评师网上,“一生难得的好老师”,一位张卫教授的学生这样留言。

    采访末了,张卫又念叨起来:“我做的都是很平凡的事,没什么故事值得采访。我想着还是多留点时间踏踏实实做研究吧。”

京ICP备06005116