2017年09月28日 星期四
微电子加工用高端超纯化学品将实现国产化

    大学生科技报讯 (记者过国忠 通讯员王欢)9月24日,记者从国家重点研发计划项目“微电子加工用高端超纯化学品”项目启动会上获悉,长期依赖进口的彩色光阻材料将实现国产化。

    举办此次启动仪式的江苏博砚电子科技有限公司总经理宗健告诉记者,彩色光阻材料,是LCD制造中的关键材料。40多年来,我国所用的彩色光阻材料一直依赖进口。此项国家重点研发计划项目,由八家单位共同承担,从基础理论研究到材料研发全链条实施,最终形成拥有自主知识产权的核心技术产品,全面实现微电子产业关键材料国产化。

    据了解,该项目任务期为四年,将通过协同创新,重点研究开发高纯度的光引发剂、高纯度的弱碱显影树脂、高纯度三甲基铝、高稳定性纳米碳浆和颜料浆,并以此为基础开发出适用于高世代LCD生产的光阻材料,形成的新产品、新原理、新技术、专利、标准等成果,将在不少于11项示范生产线上实施,开发的光阻材料在总体性能上达到或超过国外同类产品水平,实现对进口产品的替代。

    记者了解到,在项目实施之前,国内科研机构与重点企业已开展了前期基础理论与应用研究,初步形成了一批创新成果。从2014年起,博砚电子先期投资1.5亿元,引进国际先进的实验设备,聘请多领域具有开发经验的外国专家,并与北京化工大学成立联合研究中心,组成了一个拥有40多人的高水平国际化技术开发团队,加速推进BM光阻材料的研发与产业化。

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