第二看台

    过去的一年，仇旻不断收获好消息。去年4月16日，他被聘为西湖大学副校长；而后，前段时间，他的团队在《纳米快报（Nano Letters）》杂志上发表了用冰刻技术进行微纳加工的技术论文。

    从浙江大学现代光学仪器国家重点实验室主任到西湖大学副校长，身份的转变并没有让他放下科研工作。在繁忙的管理工作之外，他总会抽空联系研究团队。团队成员说，“实验进度”是他每次都会问起的事。

    “我们用了6年时间研发这项冰刻技术，但只是开了个头，未来还有很多问题等着我们去解答。”仇旻说。

    曾是浙江大学最年轻的博士之一

    16岁考入浙江大学物理系，23岁获得该校凝聚态物理博士学位，随即成为浙江大学当时最年轻的博士之一……

    每每翻开仇旻的履历，很多人都惊呼其是“天才”。面对科技日报记者，他说：“很多人都觉得我是少年班的，其实我只是读书早而已。五岁读小学，加上当时小学只读五年，所以较早进入大学，并不是所谓的天才。”

    年少成才的仇旻，不仅学识出众，在心智方面也比同龄人成熟，很早就确立了当科学家的志向。“我当时想，要当科学家就得学数理化这类课程，所以我考大学时就选择了物理专业。”仇旻说。

    在取得浙江大学凝聚态物理博士学位后，24岁的仇旻远赴瑞典皇家工学院继续深造，同年被聘为该校微电子及应用物理系助理教授。

    同时受过中国和瑞典的高等教育，仇旻对自主独立的教育模式比较推崇。这种理念其实早在他中学时代就已经建立。仇旻认为，国内的基础教育对学生限制比较多，而国外的基础教育更鼓励学生独立思考。

    在瑞典，仇旻带领团队取得了一系列与微纳光子学有关的科研成果，比如设计了世界上最小的光子晶体谐振腔。期间，他还参与创建了一家光通信企业，将科研成果转化为产品。

    最遗憾成果非完全自主研发

    2010年，35岁的仇旻离开瑞典，回国走上了浙江大学的讲台，在母校继续他的微纳光子征程。这次，仇旻要带领团队突破三维结构的微纳加工技术。

    目前，电子束曝光（EBL）是微纳加工中的关键工艺之一，它也被简称为“电子束光刻”。完成这项工艺，需要一种名为光刻胶的聚合物。这种材料经过电子束扫描后，性质会发生改变，再经过化学试剂清洗，光刻胶便能“显影”出特定图案，为下一步微纳加工“画”出模板。

    但是光刻胶很难被清洗掉，如有残留会影响器件性能；用化学试剂对其进行清洗，还可能会破坏器件本身。这无疑给三维结构的微纳加工增加了难度。

    在零下130摄氏度的真空中，水蒸气有可能凝华成一层超级光滑的薄冰。仇旻团队和丹麦科学家合作，利用这种特殊的冰代替传统电子束曝光中的光刻胶，尝试基于“冰胶”的三维微纳加工。经过6年的埋头研发，仇旻团队通过对扫描电镜的改造，最终研发出一台全新的集制冷组件、注水组件、支撑组件、测温组件于一身的冰刻微纳加工仪器。

    借助这台仪器，仇旻团队成功制造出金字塔、蘑菇、桥等三维造型，并使作品的分辨率达20纳米，定位精度达到100纳米以下。

    这一冰刻技术具有免匀胶、易剥离的特性，无须再使用化学试剂进行清洗。同时，冰刻技术的三维加工能力可被拓展到非平面衬底或易损柔性材料，为基于量子点、纳米管、石墨烯、光纤等材料的新型光电子器件提供更多研制可能。

    不过，最令仇旻感到遗憾的是，这套系统并非完全自主研发，而是基于德国仪器进行改装的。“我们深切地感受到，最尖端的科研设备还是掌握在别人手上：电子束曝光设备是德国的，光刻技术掌握在荷兰人手中，中国的微纳加工设备研制还有很长的路要走。”虽然看到差距，但仇旻并不悲观，因为他看到了国内对科研的重视，以及科研环境和氛围的不断改变。

    仇旻相信，几年后一定会有一批科研工作者，在生命科学、智能技术、纳米能源、资源环境等领域取得令人瞩目的成绩。“未来十年，取得突破的领域还将会更多，我们绝对有信心。”仇旻说。